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进展频频!美光推出首款无需EUV光刻机的DRAM
作者:佚名 文章来源:本站原创 点击数: 更新时间:2022/12/4 18:48:09 | 【字体:

  siro 1465DRAM英文全称为Dynamic Random Access Memory,中文名为动态随机存取存储器,广泛用做个人电脑、服务器和手机等电子设备的内存。

  自诞生之日起,DRAM一直是“芯片之王”,是最大宗(没有之一)的单一芯片产品。

  2021年,全球芯片市场份额是5559亿美元,其中DRAM市场份额高达961亿美元,占比17.3%。

  DRAM已经形成了三星电子(韩)、SK海力士(韩)、美光(美,纳斯达克:MU)三大巨头垄断的局面。

  三巨头的DRAM制程已经越过了1Xnm节点(16nm-19nm)、1Ynm节点(14nm-16nm), 1Znm节点(12nm-14nm),开始进入1a节点(约13nm,1Znm的增强版),正在全力备战1b节点(约12nm,1a的增强版),瞄准1g节点(约11nm,1b的增强版)。

  相比于193nm浸没式光学光刻机,EUV光刻机极大简化了制造流程,不仅可以大幅度提高光刻分辨率和DRAM性能,而且可以减少所使用的掩模数量,从而大幅度降低DRAM生产成本。

  ➢ 2020年3月,DRAM冠军三星电子率先在DRAM生产中引入EUV光刻机,在1Znm节点 DRAM 生产中,采用5次EUV光刻。

  紧随其后,2021年2月,DRAM亚军SK海力士位于韩国首尔南部利川市的M16新厂竣工,在DRAM生产中引入EUV光刻机。

  DRAM季军美国美光公司较为保守,动作较慢,预计到2024年,才在中国台湾地区的DRAM新厂生产中引入EUV光刻机。

  2021年,美光公司开始批量发货1a DRAM,落后于三星电子和SK海力士。

  2022年11月1日,美光公司突然宣布,无需借助EUV光刻机,仍然采用原有的193nm浸没式光学光刻结合多重图形曝光技术,

  美光公司跨越了1Xnm、1Ynm、1Znm、1a四个节点,全球率先进入了1β节点。

  作为世界上最先进的DRAM工艺节点,相比于1a DRAM,在16Gbit的容量下,1β DRAM的能效将提高15%,比特密度将提高35%以上!这些芯片将在日本广岛的美光晶圆厂大规模生产。

  美光公司1β DRAM技术的合格样品将交付给选定的智能手机制造商和芯片组合作伙伴,并完成了批量生产准备。

  1β DRAM将率先用在美光的LPDDR5X移动内存芯片上,最高传输速率将达到8.5Gb/s,在性能、比特密度和功耗效能方面都有显著的提高。

  1β DRAM将为智能手机提供了市场上最节能的存储技术,延长手机电池寿命。

  美光公司宣称,除了移动通讯应用场景外,低延迟、低功耗、高性能的1β DRAM,对于智能车辆、数据中心的应用程序、实时服务、个性化和情境化体验至关重要。

  基于1β DRAM的LPDDR5X不仅可以提高智能手机摄像头的启动、夜间模式和人像模式的速度和清晰度,还可以实现无抖动、高分辨率的8K视频录制和直观的手机视频编辑,将带来全面的市场优势。

  美光公司技术和产品执行副总裁斯科特德波尔(Scott DeBoer)表示:

  “我们的1β DRAM的推出标志着存储器创新的又一次飞跃,这是基于我们的独有专利,即多图案光刻技术结合前沿工艺技术和先进材料能力带来的”。

  斯科特德波尔还宣称:“通过提供世界上最先进的DRAM技术,每片内存晶片的比特数比以往任何时候都要多,这一节点为从边缘计算到云计算的新一代数据丰富、智能和节能技术奠定了基础”。

  但是,值得注意的是,除了强调绕开EUV光刻机之外,并使用了该公司的第二代高K金属栅极之外,美光公司并未提及1β DRAM在材料架构技术创新方面的进展,特别是为每个位单元提供电容的介电层。该公司也没有说明其提供的1β DRAM的容量。

  今年以来,美光不断有惊人的进展!2022年7月,美光公司推出了全球首款232层NAND(存储器产品的亚军),领先其对手三星电子和SK海力士。

  2022年10月,美光公司宣布,计划在未来20年或更长时间内投资1000多亿美元,在美国纽约州北部建立大型存储器生产工厂。美光公司首席执行官桑杰·梅罗特拉表示:“毫无疑问,如果没有

  (*注:CHIPS法案:2022年8月9日美国总统拜登签署的《2022年芯片与科学法案》)

  但是,这些重大进展还没有引起股票市场的注意。近几年来,美光公司的股票股价是这样的。

  作为存储业界的老三,借助CHIPS法案的东风,美光公司有可能在未来几年登上老大的位置吗?让我们拭目以待。

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